BS EN 62047-11:2013 PDF
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
Название (английский):
BS EN 62047-11:2013
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Дата публикации:
- 31 октября 2013 г.
- ICS:
- 31.080.99
- Технический комитет:
- CENELEC
- SKU:
- BS EN 62047-11:2013