BS EN 62047-16:2015 PDF
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Test methods for determining residual stresses of MEMS films. Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
Название (английский):
BS EN 62047-16:2015
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Test methods for determining residual stresses of MEMS films. Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Дата публикации:
- 31 июля 2015 г.
- ICS:
- 31.080.99
- Технический комитет:
- CENELEC
- SKU:
- BS EN 62047-16:2015