BS IEC 62047-30:2017 PDF
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Дата публикации:
- 31 октября 2017 г.
- ICS:
- 31.080.99
- SKU:
- BS IEC 62047-30:2017