BS IEC 62047-32:2019 PDF
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Test method for the nonlinear vibration of MEMS resonators
Название (английский):
BS IEC 62047-32:2019
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Test method for the nonlinear vibration of MEMS resonators
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Дата публикации:
- 31 января 2019 г.
- ICS:
- 31.080.99
- Технический комитет:
- CENELEC
- SKU:
- BS IEC 62047-32:2019