BS ISO 16413:2020 PDF
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry. Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting.
Название (английский):
BS ISO 16413:2020
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry. Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting.
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Количество страниц:
- 42
- Дата публикации:
- 18 августа 2020 г.
- SKU:
- BS ISO 16413:2020