BS ISO 21859:2019 PDF
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment.
Название (английский):
BS ISO 21859:2019
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment.
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Количество страниц:
- 12
- Дата публикации:
- 19 июня 2019 г.
- SKU:
- BS ISO 21859:2019