ISO 14237:2000 PDF
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
Название (английский):
ISO 14237:2000
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
- Статус документа:
- Отменён
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Количество страниц:
- 22
- Дата публикации:
- 3 февраля 2000 г.
- Издание:
- ISO IS 14237 edition 1 version 1
- ICS:
- 71.040.40
Технические детали
- Технический комитет
- ISO/TC 201/SC 6 - Secondary ion mass spectrometry
- SKU
- ISO 14237:2000