ISO 14644-6:2007 PDF
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary
Название (английский):
ISO 14644-6:2007
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary
- Статус документа:
- Отменён
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Количество страниц:
- 12
- Дата публикации:
- 4 июля 2007 г.
- Издание:
- ISO IS 14644 edition 1 version 1
- ICS:
- 13.040.35
Описание (английский):
ISO 14644-6:2007 establishes a vocabulary of terms and definitions related to cleanrooms and associated controlled environments.
Технические детали
- Технический комитет
- ISO/TC 209 - Cleanrooms and associated controlled environments
- SKU
- ISO 14644-6:2007